本文件规定了六氯乙硅烷中钠、镁、铝、钾、钙、钛、钒、铬、锰、铁、钴、镍、铜、锌、镓、砷、铅、钡、锂、锶、铋、钼等元素的电感耦合等离子体质谱仪测定方法。
本文件适用于六氯乙硅烷中杂质元素含量的测定，各元素测定范围为0.01ng/g～50ng/g。