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硅基MEMS制造技术 体硅压阻加工工艺规范

标 准 号： GB/T 32815-2016
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 北京大学、中机生产力促进中心、大连理工大学、东南大学、北京青鸟元芯微系统科技有限公司
发布日期： 2016-08-29
实施日期： 2017-03-01
点 击 数：
更新日期： 2025年01月15日
内容摘要

本标准规定了采用体硅压阻工艺进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。?  
本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于背腔腐蚀和硅?玻璃键合的体硅压阻加工工艺的加工和质量检验。

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