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电子束曝光机通用技术条件

标 准 号： SJ/T 10312-1992
替代情况：
发布单位： 机械电子工业部
起草单位： 机械电子工业部电子标准化研究所
发布日期： 1992-06-15
实施日期： 1992-12-01
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更新日期： 2024年09月01日
内容摘要

本标准规定了电子束曝光机（以下简称曝光机）的术语、技术要求、试验方法、检验规则等。


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