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磁控溅射设备通用技术条件

标 准 号： SJ/T 10478-1994
替代情况：
发布单位： 电子工业部
起草单位： 电子工业部标准化研究
发布日期： 1994-04-11
实施日期： 1994-10-01
点 击 数：
更新日期： 2024年08月20日
内容摘要

本标准适用于磁控溅射设备（以下简称“设备”）。


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