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氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径测试方法

标 准 号： GB/T 41751-2022
替代情况：
发布单位： 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国电子科技集团公司第四十六研究所 等
发布日期： 2022-10-12
实施日期： 2023-02-01
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更新日期： 2023年01月11日
下载地址：点击这里 1.84 MB
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内容摘要

本文件规定了利用高分辨X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的方法。
本文件适用于化学气相沉积及其他方法制备的氮化镓单晶衬底片晶面曲率半径的测试，氮化镓外延片晶面曲率半径的测试可参照本文件进行。

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