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高纯三氧化二镓杂质含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

标 准 号: YS/T 980-2014
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 峨嵋半导体材料研究所、南京中锗科技股份有限公司、广东先导稀材股份有限公司
发布日期: 2014-10-14
实施日期: 2015-04-01
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更新日期: 2019年05月29日
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内容摘要

本标准规定了高纯三氧化二镓中杂质元素含量的测定方法。
本标准适用于高纯三氧化二镓中钠、镁、钙、钛、钒、铬、锰、铁、镍、钴、铜、锌、锡、铅、铟含量的测定。各元素测定范围为1×10-6%~4×10-5%。

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