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异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法

标 准 号： YS/T 14-2015
替代情况： 替代 YS/T 14-1991
发布单位： 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位： 南京国盛电子有限公司等
发布日期： 2015-04-30
实施日期： 2015-10-01
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更新日期： 2019年05月13日
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内容摘要

本标准规定了异质外延层和硅多晶层厚度的测量方法。
本标准适用于测量衬底与沉积层之间界面层厚度小于100nm的异质外延层和硅多晶层的厚度，测量范围为1μm～100μm。

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