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高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定高纯砷中杂质含量

标 准 号: YS/T 34.1-2011
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司
发布日期: 2011-12-20
实施日期: 2012-07-01
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更新日期: 2019年05月13日
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内容摘要

本标准规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法,采用电感耦合等离子质谱法测定砷中镁、铬、镍、铜、锌、银、锑、铅、铋、钠、钾、铝、钙、铁等14个杂质含量。
本标准适用于99.999%~99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围1×10-7% ~1000×10-7% 。

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