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硅抛光片表面颗粒测试方法

标 准 号: GB/T 19921-2018
替代情况: 替代 GB/T 19921-2005
发布单位: 国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
起草单位: 有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、浙江金瑞泓科技股份有限公司等
发布日期: 2018-12-28
实施日期: 2019-07-01
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更新日期: 2019年04月24日
内容摘要

本标准规定了应用扫描表面检查系统对抛光片、外延片等镜面晶片表面的局部光散射体进行测试,对局部光散射体与延伸光散射体、散射光与反射光进行区分、识别和测试的方法。

如需帮助,请联系我们。联系电话400-6018-655。
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