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氮化镓单晶衬底片x射线双晶摇摆曲线半高宽测试方法

标 准 号： GB/T 32188-2015
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所、苏州纳维科技有限公司、中国科学院物理研究所
发布日期： 2015-12-10
实施日期： 2016-11-01
点 击 数：
更新日期： 2017年04月07日
下载地址：点击这里 422.13 KB
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内容摘要

本标准规定了利用双晶 X射线衍射仪测试氮化镓单晶衬底片摇摆曲线半高宽的方法。
本标准适用于化学气相沉积及其他方法生长制备的氮化镓单晶衬底片。

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