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功率器件用Φ150 mm n型碳化硅衬底

标 准 号: SJ/T 11865-2022
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 中国电子技术标准化研究院 等
发布日期: 2022-09-30
实施日期: 2023-01-01
点 击 数:
更新日期: 2023年10月23日
内容摘要

本文件规定了功率器件用Φ150mm n 型碳化硅(SiC)衬底的术语、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存。适用于经抛光后制备的Φ150mm n 型 SiC 衬底,晶型为 4H。

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