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高纯四氯化硅中痕量磷的分光光度比色测试方法

标 准 号： SJ 2595-1985
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国电子工业部
起草单位： —
发布日期： 1985-07-31
实施日期： 1984-01-01
点 击 数：
更新日期： 2022年06月21日
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内容摘要

本方法适用于生长半导体器件及电路用硅外延片、多晶硅和光通讯器件用光纤予制件的高纯四氯化硅中磷含量的测试方法。


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