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晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备

标 准 号: T/CPIA 0059-2024
替代情况:
发布单位: 中国光伏行业协会
起草单位: 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司、无锡市检验检测认证研究院、中国电 子技术标准化研究院
发布日期: 2024-03-10
实施日期: 2024-03-15
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更新日期: 2024年07月19日
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内容摘要

本文件规定了晶体硅光伏电池用低压化学气相淀积设备(以下简称“LPCVD设备”)的术语和定义、工作环境、技术要求、基本性能、检验方法、交付检验以及标志、包装、搬运和运输、贮存。


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