本标准规定了基于光学干涉显微镜获取MEMS微结构表面形貌进行面内长度测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4%，宽深比不低于1:10，且使用光学干涉显微镜能够获取形貌的MENS微结构。
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