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微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的MEMS微结构残余应变测量方法
标 准 号:
GB/T 34900-2017
替代情况:
发布单位:
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位:
中机生产力促进中心
发布日期:
2017-11-01
实施日期:
2018-05-01
点 击 数:
更新日期:
2018年04月15日
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下载点数:
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内容摘要
本标准规定了基于光学干涉显微镜获取的微双端固支梁结构表面形貌进行残余应变测量的方法。
本标准适用于表面反射率不低于4%且使用光学干涉显微镜能够获取表面形貌的微双端固支梁结构。
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微机电系统(MEMS)技术 基于光学干涉的M…
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