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微机电系统（MEMS）技术 基于拉曼光谱法的微结构表面应力测试方法

标 准 号： GB/T 34899-2017
替代情况：
发布单位： 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
起草单位： 中机生产力促进中心
发布日期： 2017-11-01
实施日期： 2018-05-01
点 击 数：
更新日期： 2018年04月15日
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内容摘要

本标准规定了拉曼光谱法测定微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的方法。
本标准适用于微机电系统（MEMS)结构表面残余应力、相对静态应力、相对动态应力的拉曼光谱法测试。 

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