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钒蒸发料

标 准 号: YS/T 1142-2016
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 北京有色金属研究总院等
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
点 击 数:
更新日期: 2017年09月26日
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内容摘要

本标准规定了钒蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钒蒸发料。

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