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钛蒸发料

标 准 号: YS/T 1141-2016
替代情况:
发布单位: 中华人民共和国工业和信息化部
起草单位: 有研亿金新材料有限公司等
发布日期: 2016-07-11
实施日期: 2017-01-01
点 击 数:
更新日期: 2017年09月26日
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内容摘要

本标准规定了钛蒸发料的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体行业用的钛蒸发料。    

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