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光伏电池用硅材料中p、as、sb施主杂质含量的二次离子质谱测量方法

标 准 号: GB/T 29852-2013
替代情况:
发布单位: 国家质量监督检验检疫总局
起草单位: 信息产业专用材料质量监督检验中心
发布日期: 2013-11-12
实施日期: 2014-04-15
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更新日期: 2018年09月17日
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内容摘要

本标准规定了用二次离子质谱仪(SIMS)测定光伏电池用硅材料中磷、砷和锑含量的方法,本标准适用于光伏电池用硅材料中施主杂质磷、砷和锑含量的定量分析,其中磷、砷和锑的浓度均大于1×10(14)atoms/cm3。

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